設備名稱 Equipment name

管式低壓硼擴設備  Horizontal Low Pressure Boron Diffusion Equipment

設備型號 Equipment Model

DOA-420/DOA-420L/DOA-420MAX

設備用途 Equipment Application

低壓、高溫硼擴散摻雜。
Low pressure, high temperature boron diffusion & doping.

技術特點  Features 

1、成熟BBr3液態(tài)源、BCL3氣態(tài)源控制與輸送技術。

Matured BBr3 liquid source & BCL3 gas source control and delivery technology.

2、配套相關專利技術。
Patented technology..

3、獨特雙嵌套爐門結構。
Unique double-layer-nested furnace door structure.

4、高速平穩(wěn)整體模組推舟機構。
High-speed and stable integral module boat pushing mechanism.

5、智能化全自動控制。
Intelligent automatic control.

6、自主知識產權MES軟件。
MES software with independent intellectual property rights.

7、匹配S.C智能化生產管理系統(tǒng)。

Matching S.C smart production management system.

設備參數(shù)  Parameters